Каменева А.Л., Сошина Т.О. Физико-механические свойства пленок на основе Ti-Al-N, формируемых импульсным магнетронным распылением при переменном давлении газовой смеси

Аннотация

Изучено влияние давления газовой смеси на фазовый состав, морфологические особенности поверхности, структурные характеристики и физико-механические свойства пленок на основе Ti-Al-N, формируемых методом импульсного магнетронного распыления. При оптимальном давлении газовой смеси получена поликристаллическая пленка с уникальным комплексом физико-механических свойств.

Ключевые слова

Импульсное магнетронное распыление, давление газовой смеси, фазовый состав, микроструктура, физико-механические свойства.

Каменева Анна Львовна – канд. техн. наук, доц. ФГБОУ ВПО «Пермский национальный исследовательский политехнический университет», Россия. Тел.: (3422) 224-24-05. E-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра..

Сошина Татьяна Олеговна – зав. лабораторией, Лысьвенский филиал ФГБОУ ВПО «Пермский национальный исследовательский политехнический университет», Россия. Тел.: (34249) 6-10-79. E-mail: Этот адрес электронной почты защищён от спам-ботов. У вас должен быть включен JavaScript для просмотра..

1. Santana A.E., Karimi A., Derflinger V.H., Schütze A. Thermal treat-ment effects on microstructure and mechanical properties of TiAlN thin films // Tribology Letters. 2004. Vol. 17. Nо. 4. P. 689-696.

2. Musil J., Hruby H. Superhard nanocomposite Ti1-xAlxN films prepared by magnetron sputtering // Thin Solid Films. 2000. Vol. 365. P. 104-109.

3. Barshilia H.C., Yogesh K., Rajam K.S. Deposition of TiAlN coatings using reactive bipolar-pulsed direct current unbalanced magnetron sputtering // Vacuum. 2009. Vol. 83. P. 427-434.

4. Astrand M., Selinder T.I., Sjöstrand M.E. Deposition of Ti1−xAlxN using bipolar pulsed dual magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology. 2005. Vol. 200. Iss. 1-4. P. 625-629.

5. Структурообразование пленок Ti-Al-N под влиянием температур-ных условий их формирования / Каменева А.Л., Карманов В.В., Сошина Т.О., Каменева Д.В., Винокуров Н.В. // Технология металлов. 2012. №10. С. 35-44.

6. Ipaz L., Caicedo J.C., Esteve J., Espinoza-Beltran F.J., Zambrano G. Improvement of mechanical and tribological properties in steel surfaces by using titanium–aluminum/titanium–aluminum nitride multilayered system // Applied Surface Science. 2012. Vol. 258. Iss. 8. P. 3805-3814.

Подробности: Опубликовано: 18 сентября 2015; Обновлено: 18 сентября 2015; Просмотров: 2478